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微电子用高端化学材料不再完全依赖进口

国内首条年产1000吨黑色光阻示范生产线建成

科技日报北京4月18日电 (记者过国忠)18日科技日报记者从北京化工大学、江苏博砚电子科技有限公司联合召开的国家重点研发与产业化项目推进会上获悉,我国LCD制造用高端超纯材料的关键技术取得重大突破,并已在宜兴建成国内首条年产1000吨黑色光阻示范生产线。这意味着,长期受国外垄断的微电子高端材料开始走向国产化,并为我国微电子及相关产业走出依赖“困境”起到了重要的引领作用。

微电子产业是我国国民经济的支柱产业,也是重点发展的战略性新兴产业。但是,在这个领域的核心技术、关键装备与材料是我国产业的短腿,长期受到欧美、日本等国家和地区的垄断与封锁。江苏博砚电子科技有限公司董事长宗健说:“有资料显示,2017年我国进口芯片花费2072亿美元。从材料来说,目前国内自我供给仅占总需求的10%左右。”

北京化工大学理学院院长聂俊介绍,该校主持承担的“微电子加工用高端超纯化学品”是国家重点研发与产业化项目,自去年启动以来,通过产学研合作,突破了微电子加工用高端电子化学品超纯化处理技术瓶颈,实现微电子加工用高感度光引发剂和弱碱显影树脂的结构设计及超纯化规模制备,并将在国内建成超纯三甲基铝(7N级)、纳米色浆、光阻材料生产线、建立光阻材料的性能评价平台,实现从原材料至最终产品的自主配套。

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